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专供半导体芯片使用的洁净烤箱

       封装测试厂从来料(晶圆)开始,经过前道的晶圆表面贴膜然后晶圆背面研磨(GRD)→晶圆背面抛光(polish)→晶圆背面贴膜(W-M)→晶圆表面去膜(WDP)→晶圆烘烤(WBK)等工序对芯片进行封装和测试。半导体芯片的生产车间都有着严格的生产条件要求,比如恒温恒湿,无尘洁净等,芯片只有在适合的环境能才能正常发挥作用,而平博88周围的正常环境大多数情况下并不能做到这一点,所以需要封测来保护芯片,为其制造一个良好的工作环境。

       平博88洁净工业烤箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净无尘烘干设备。箱内空气封闭自循环,经耐高温高效空气过滤器(100级)反复过滤,使烘箱工作室内处于无尘状态。

        洁净烘箱具有以下特点,产品密封性要求,工作室材质用SUS304不锈钢板,内胆用氩弧焊满焊,防止空气进入烘箱内及机台本身所产生的微尘,同时节省惰性气体。外部防尘处理使用材质为SPCC钢板经过粉体喷塑,耐磨不掉尘渣。保温材质为高密度陶瓷纤维,保温节能。分层结构设计内箱层板高低可调,可自由取出,内部结构配件均采用无氧化无尘材质。干燥箱的外箱结构均采用特殊密封结构设计,确保其与洁净室的无交叉污染。箱体有活动脚轮,可任意推动和固定位置。内置的高效过滤器HEPA过滤网构造洁净室与洁净等级100以下。强制送风内循环,确保温度均匀,可选配充氮系统,可选配PLC+HMI人机触摸屏控制系统,带数据输出接口。