设备简介

为满足半导体封装测试行业对无尘烘烤的需求，深圳平博88根据行业的使用习惯、材料特性、工艺流程等特点研发出半导体洁净烤箱。洁净烤箱主要通过空气过滤器来净化环境,避免空气中的细小颗粒物进去箱内。箱内空气封闭自循环，经100级耐高温高效空气过滤器反复过滤，使工作室内处于无尘状态。洁净烤箱主要适用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。

产品特点

1、结构组成：由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道循环系统组装而成，结构合理； 

2、密封性设计：全周氩焊，采用耐高温硅橡胶无尘密封条隔热，确保密封性和洁净度；

3、外部防尘处理：外材质为SPCC钢板经过粉体喷塑，耐磨不掉尘渣； 

4、高效过滤器：HEPA过滤网构造洁净室，99.99%有效过滤，洁净度达到等级100级；

5、节能：保温材质为高密度纤维，保温节能；

6、分层结构设计：内箱层板高低可调，可自由取出；

7、温控仪表：自动控制温度，恒温及时间控制，设有超温自动停电及报警电路，控制可靠，使用安全；

8、电器配件：全部采用一线品牌，PID演算的温控系统和超温保护装置，智能恒温，温差小，适用不同产品的长、短烘烤。

选配组件

1、程序控温：可配置程序型温度控制器，实现多组程序控温。
2、测温功能：多点测温查看及记录功能。
3、风门调节：可加装风量调节装置，亦可实现风门开关程序控制。
4、温度记录仪：可配置多通道温度记录仪，打印机或RS485接口，监控记录温度变化状况。

产品参数